【摘 要】
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利用DEM (Deepetching ,Electroforming ,Microreplication)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究。对微复制工艺参数进行了优化 ,在PC、PMMA和POM塑料上获得了高深
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心!薄膜与微细技术国家教委部门开放实验室,上海200030,上海交通大学信息存储研究中心!薄膜与微细技术国家教委部门开放实验室,上海200030,上海交通大学信息存储研究中心
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利用DEM (Deepetching ,Electroforming ,Microreplication)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究。对微复制工艺参数进行了优化 ,在PC、PMMA和POM塑料上获得了高深宽比的微结构 ,并对PC、PMMA和POM和不同图形的微复制效果进行了比较
The microreplication process was studied using the microreplication metal molds obtained by Deepetching, Electroforming, Microreplication technology. The parameters of microreplication were optimized. Microstructures with high aspect ratio were obtained on PC, PMMA and POM plastics. The microduplication effects of PC, PMMA, POM and different patterns were compared
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