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本文分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的各种曲线,同时给出了一种简单的温度补偿方法.这种方法虽然不能得到准确解,但是它的补偿结果非常好.采用这种方法补偿对所用的外围器件要求不需要非常严格,而且适用于窄、宽温范围.本文给出了补偿前后的对照表.
扩散硅压力传感器的温度特性及其补偿
【摘 要】
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本文分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的各种曲线,同时给出了一种简单的温度补偿方法.这种方法虽然不能得到准确解,但是它的补偿结果非常好.采用这种方法补偿对所用的外围器
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所沈阳市110043,沈阳市110043
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1995年06期
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