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介绍了面向LED芯片制造和高端封装去胶设备发展现状,提出了一种旋转式去胶机的总体布局以及反应腔体结构设计,并分析阐述了其主要技术指标和效益,实现了该去胶机总体设计。
面向LED芯片制造和高端封装旋转式去胶机的设计与研究
【摘 要】
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介绍了面向LED芯片制造和高端封装去胶设备发展现状,提出了一种旋转式去胶机的总体布局以及反应腔体结构设计,并分析阐述了其主要技术指标和效益,实现了该去胶机总体设计。
【机 构】
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盐城工业职业技术学院,盐城工学院优集学院,盐城中科微电子设备有限公司,中国科学院微电子研究所
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2016年1期
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