【摘 要】
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定量相位显微(Quantitative Phase Microscopy,QPM)将相位成像和光学显微技术相结合,为微观物体的三维形貌、透明物体的厚度/折射率分布提供了一种快速、无损、高分辨率测量
【机 构】
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西安电子科技大学物理与光电工程学院,中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室,陕西师范大学物理学与信息技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(61605150,61475187,6140524);国家“千人计划”基金;高等学校学科创新引智计划(B17035)
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定量相位显微(Quantitative Phase Microscopy,QPM)将相位成像和光学显微技术相结合,为微观物体的三维形貌、透明物体的厚度/折射率分布提供了一种快速、无损、高分辨率测量手段。然而,传统QPM成像系统依然是一个衍射受限系统,高分辨率与大视场难以同时兼顾。因此,如何在保持大视场的前提下提高成像空间分辨率是QPM亟需解决的问题之一。近年来,国内外学者采用离轴照明、散斑照明、结构照明、以及亚像元技术形成“合成数值孔径”,实现了QPM的大视场、高分辨成像。文中对以上QPM的分辨率增强技术
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