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High-precision method of detecting motion straightness based on plane mirror interference

来源 :北京理工大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：YYXINLEI

【摘 要】

：

A high-precision method of detecting motion straightness was proposed based on the principle of plane mirror interference after analyzing the motion straightnes

【作 者】

：

DENG Yong-jun ZHANG Zhi-jing J 

【机 构】

：

SchoolofMechanicalEngineering

【出 处】

：

北京理工大学学报：英文版

【发表日期】

：

2015年4期

【关键词】

：

仪器 仪表 设计 理论 motion straightness plane mirror interference uncertainty high-pre 

【基金项目】

：

Supported by National Defense Basic Scientific Research Pro- ject（A222013）, High Quality CNC Machine Tool and Basic Manufacturing Equipment Scientific Major Project （ 2012ZX04010-061 ）

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A high-precision method of detecting motion straightness was proposed based on the principle of plane mirror interference after analyzing the motion straightness error of a linear stage.Detection experiments were carried out and the motion straightness er

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