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<正> 电子探针x射线显微分析仪是近十多年来新发展的一种大型电子光学仪器,它是用物理方法在样品微小区域（约1立方微米体积）内对物质化学成分进行定性定量分析,元素含量仅需10-14～10-15克就能被探测出来.其元素分析范围从原子序数5（硼）至92（铀）.若进行扫描观察,可直接显示样品表面物质的元素分布状态和形貌.