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采用X射线衍射(XRD)方法重点对不同批次的ITO、ZrO2纳米复合粉末的相结构、晶粒平均尺寸进行了测定,并采用扫描探针显微镜(SPM)对ITO纳米复合粉末的形貌、粒度分布分别进行了观察和测定,采用透射电镜(TEM)观察了ZrO2纳米复合粉末的形貌,结果表明,多种方法相结合可对纳米复合粉末的微观结构参数进行全面的评估.