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本文介绍一种数字化输出的集成流量传感器,传感器由温敏元件、加热元件和触发器组成,电路连接使得传感器工作在加热和冷却的振荡状态,产生方波输出,其脉冲宽度用作为流速的量度。该传感器由通用的CMOS工艺制成。
具有脉宽调制输出的CMOS集成流量传感器
【摘 要】
：
本文介绍一种数字化输出的集成流量传感器,传感器由温敏元件、加热元件和触发器组成,电路连接使得传感器工作在加热和冷却的振荡状态,产生方波输出,其脉冲宽度用作为流速的量
【机 构】
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东南大学微电子中心,东南大学微电子中心南京,南京
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
1990年5期
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