论文部分内容阅读
用反应磁控溅射方法制备了ＴｉＡｌＮ薄膜，结构分析表明，当Ｔｉ的含量小于０．２５时，ＴｉＡｌＮ薄膜是Ａｌ基氮化物的闪锌矿结构，但晶格常数随Ｔｉ原子含量的增加而增大，Ｘ射线光电子能谱分析表明，ＴｉＡｌＮ薄膜有与ＡｌＮ和ＴｉＮ不同的电子结构特征。
TiAlN保护膜的制备及结构研究
【摘 要】
：
用反应磁控溅射方法制备了ＴｉＡｌＮ薄膜，结构分析表明，当Ｔｉ的含量小于０．２５时，ＴｉＡｌＮ薄膜是Ａｌ基氮化物的闪锌矿结构，但晶格常数随Ｔｉ原子含量的增加而增大，Ｘ射线光电子能谱分析表明，ＴｉＡｌＮ薄膜有与ＡｌＮ和ＴｉＮ不同的电子结构特
【机 构】
：
华中理工大学电子科学与技术系
【出 处】
：
华中理工大学学报
【发表日期】
：
1998年4期
其他文献
高中阶段的学生处于身体和心理发展的关键时期,也就是处在所谓的青春期,因此容易受到外界因素的影响形成一些负面且消极的情绪.英语学科虽然为高中阶段的主要学科,但是由于英
站在2021年的新起点,让我们一起对2021年的传媒业做一个展望,以20个对传媒业的预判,带领大家一起思考和预测传媒业的2021。1.建党百年主题掀起报道策划热潮;2.与千行百业谋划
随着我国对外经济贸易和经济技术合作的逐步发展，绥芬河市法人涉外公证业务量逐年上升，已由最初的年办理该类公证30余件增至现在的年办证140余件。
目的：探讨低氧诱导因子1α（HIF-1α）在骨肉瘤中的表达及其与肿瘤血管生成的关系。方法：低氧及模拟低氧条件下体外培养MG-63骨肉瘤细胞，另外收集30例骨肉瘤组织石蜡标本及20例新鲜
民乐在我国发展历史中,拥有着较长的历史,随着时代发展,民乐的种类也在不断增多,甚至向着艺术发展的角度完成不同的内容演绎。但在现代社会发展过程中,一些民乐已经无法满足
随着世界原油含硫化,炼厂脱硫溶剂的循环量不断增加,导致溶剂再生部分能耗剧增。使用Aspen HYSYS对一组脱硫单元进行了模拟,得出该脱硫系统最小的脱硫溶剂循环量。在此基础上
基于原图像经低通滤波器且向下２减抽样后，变成了分辨率低、缩小至原图像的四分之一，经高通滤波后，过滤出垂直、水平、对角边缘信息这一观点，提出了基于边缘的小波变换编码，当对３个高
随着脊柱内固定技术的普及和应用,儿童胸腰椎脊柱骨折椎弓根钉棒系统内固定术后翻修的病例逐渐增多。儿童脊柱翻修手术难度大,术后疗效不确定,患儿花费大,极大地困扰着儿童脊
五月，友谊宾馆内已是绿树成阴，花香怡人，百鸟欢唱。来自全国各地的181名公证界的代表，肩负着两万多公证人员的重托，带着两万多公证人员的心声，在这两天里，给北京友谊宾馆增添了新的