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介绍了等离子体源离子注入(PSII)的现状、特点、原理和应用效果。
等离子体源离子注入技术
【摘 要】
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介绍了等离子体源离子注入(PSII)的现状、特点、原理和应用效果。
【机 构】
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西南交通大学,西南交通大学
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1994年2期
【基金项目】
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国家“863”重点攻关项目(863-715-23-05)
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