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阐述了频率输出的新型谐振传感器的发展方向之一——微型化。评价性地论述了热激励硅谐振压力传感器和热激励谐振膜质量流量传感器。重点讨论了热激励的原理,特点等。指出我国应对传感器的这一发展趋势给予足够的重视。
微结构谐振传感器
【摘 要】
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阐述了频率输出的新型谐振传感器的发展方向之一——微型化。评价性地论述了热激励硅谐振压力传感器和热激励谐振膜质量流量传感器。重点讨论了热激励的原理,特点等。指出我
【机 构】
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北京航空航天大学自动控制系,北京航空航天大学自动控制系
【出 处】
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北京航空航天大学学报
【发表日期】
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1992年2期
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