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利用溶胶-凝胶法制备了掺杂N、F和Fe的TiO2光催化剂，并进行了XRD、 XPS和晶粒尺寸分析，结果表明，掺杂抑制了锐钛矿向金红石的转变，延迟了TiO2相的转移；晶粒尺寸随着焙烧温度的升高而增大；N与Ti可以两种化学键的形式结合，Fe仅与O以化学键形式结合，而F则出现化学键结合和吸附结合形式；F与Ti的高结合能弥补了N与Ti形成的低结合能，保证了材料的高稳定性。