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介绍了新近研制的用于ＳｉＧｅ材料生长的超高真空（ＵＨＶ）／紫外光（ＵＶ）／能量辅助ＣＶＤ工艺系统。
用于SiGe材料生长的新型UHV／UV／CVD系统
【摘 要】
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介绍了新近研制的用于ＳｉＧｅ材料生长的超高真空（ＵＨＶ）／紫外光（ＵＶ）／能量辅助ＣＶＤ工艺系统。
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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陕西省真空学会推荐的优秀论文 ,国防科技预研项目!编号 8.5.6.5
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