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采用真空蒸发沉积法，以盐酸掺杂态和本征态聚苯胺粉末为原料，分别在Si（100）和载玻片上沉积了聚苯胺膜。利用傅立叶红外光谱仪（FT-IR）和扫描电镜（SEM）对薄膜进行了表征，并研究了原料颗粒尺寸对成膜质量的影响。电导率测试结果表明，采用该方法沉积的薄膜电导率在10^-6S/cm量级，达到了防静电材料电导率的要求。