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利用多体系统理论和齐次坐标变换法建立了双电机同步驱动的二维工作台几何误差模型。基于倍福自动化控制系统,针对进给方向上的定位误差提出了一种适用于双驱二维工作台的虚拟轴-电子凸轮误差补偿方法。以激光干涉仪为工具测量了相关的几何误差,对测量结果进行了拟合,在此基础上进行了误差补偿实验,验证了几何误差模型以及所提出的误差补偿方法较为准确、有效。