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场发射扫描电子显微镜(FESEM)是一种高分辨扫描电镜,在材料分析中得到广泛应用.尤其是良好的低压高空间分辨性能和低压下良好的SE像相互结合使用,使SEM应用范围得到扩展.
利用场发射扫描电镜的低电压高性能进行材料表征
【摘 要】
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场发射扫描电子显微镜(FESEM)是一种高分辨扫描电镜,在材料分析中得到广泛应用.尤其是良好的低压高空间分辨性能和低压下良好的SE像相互结合使用,使SEM应用范围得到扩展.
【机 构】
：
清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室,清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室
【出 处】
：
电子显微学报
【发表日期】
：
2001年4期
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