论文部分内容阅读
本文分析了沟槽栅功率器件中对栅氧化膜特性造成影响的主要工艺因素,报告了一种获得高性能栅氧特性的方法,并且对栅氧化膜特性改善的机理进行了研究。对于厚度55nm的沟槽栅氧化膜,其正向偏置和反向偏置下的击穿电压都高于30伏特。
沟槽栅功率器件栅氧化膜特性的工艺研究
【摘 要】
：
本文分析了沟槽栅功率器件中对栅氧化膜特性造成影响的主要工艺因素,报告了一种获得高性能栅氧特性的方法,并且对栅氧化膜特性改善的机理进行了研究。对于厚度55nm的沟槽栅氧
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2013年11期
其他文献
清承明制而设立商籍,主要为便利异地盐商子弟参加科考,但商籍科举取中率较高,遂引发冒占商籍现象不断加剧。乾隆年间,"冒籍"已呈泛滥之势。为维护科举公平,乾隆以根治商籍优
自1952年全国统一高考建制以来,高考便与户籍紧密捆绑在一起,形成今天我们熟知的高考户籍制。然而随着中国区域经济发展步伐的加快及城市化进程的不断加速,大规模流动人口所
不同剪切速率下充填节理的剪切特性对动态荷载作用下工程岩体的安全稳定性有着重要的影响。为了研究剪切速率对充填节理的剪切力学特性的影响,通过花岗岩试块中间充填天然河
本文简要介绍了国内外常用的电力机车自动过分相方案,并对其优缺点进行分析比较。对国内采用的车上自动控制断电过分相方案运用中存在的问题进行了分析,提出了增强过分相装置
目前口语教学的地位越来越重要,教师应重视外语口语教学,了解口语教学现状,并在教学中引入抛锚式教学理念,重视评价体系对口语教学的反拨作用,研究现有的各种口语教学评价模
<正>草原文化是中华民族文化的重要组成部分,是中华文化三大主源之一。内蒙古作为草原文化的主要发祥地和承载地,在开展草原文化研究、推动草原文化繁荣发展方面取得了令人瞩
会议
在我国社会主义现代化发展的过程中,女性的社会地位在逐渐的提高,这不仅有利于女性合法权益的保护,还为社会主义和谐社会的建设奠定了基础。不过,尽管我国在女性权益保护上已
<正>第一章基本要求第一条为规范医疗机构开展用药咨询工作,保障用药咨询工作质量,依据《医疗机构药事管理规定》《处方管理办法》等有关法律法规、规章制度,制定本规范。第
庆大霉素是一种多组分的氨基糖苷类抗生素，主要由5种C族化合物组成：庆大霉素C1，C2，C1a，C2a，C2b。庆大霉素的生物合成可以分为两个过程，首先是从D-葡萄糖开始到形成重要的庆大霉素前
“创作出版论”的本质是以编辑为中心，前提是以读者为本，核心是创意优先。“创作出版论”彻底颠覆了传统的以作者为中心的图书出版模式，开辟了编辑中心的时代：编辑以读者需要为出