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美国洛克希德马丁红外成像系统公司正在研制既可用于军事应用又可用于商业应用的低成本、高性能、非致冷红外成像产品。这些产品均基于一种微热辐射计技术,即一种将晶片级硅工艺同一种能够产生优良成像性能的器件结构相结合的硅微切削敏感器。本文介绍几种正在使用洛克希德马丁公司的微热辐射计敏感器的应用。 为了确定敏感器装入军用和商用产品后的能力,已对我们的基本非致冷敏感器的性能进行了测量。在95℃的场景温度范围内,该敏感器的非线性度小于0.5%。我们的敏感器的时间 NETD 小于70 mK,而空间 NETD 小于50