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文章提出一种在掩模板物料传送系统中应用的双轴控制方法,介绍设备结构原理和运动控制方式,分析控制器的基本策略设计,最终通过在系统中应用,验证了该方法的有效性。
具备同步运动和差动运动的双轴控制补偿方法
【摘 要】
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文章提出一种在掩模板物料传送系统中应用的双轴控制方法,介绍设备结构原理和运动控制方式,分析控制器的基本策略设计,最终通过在系统中应用,验证了该方法的有效性。
【机 构】
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上海微电子装备（集团）股份有限公司
【出 处】
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电工技术
【发表日期】
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2020年12期
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