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采用新型等离入体浸没式离子注入技术，对Ｔi6A14V合金进行氮离子注入，对注入层的成分，组织和性能的分析表明，注入层中氮浓度的分布具有类高斯分布特征，在注入层中有ＴiN和非态相形态，注入层的显微硬度和摩擦性能得到明显改善。
Ｔi６A14V等离子体浸没式离子注入
【摘 要】
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采用新型等离入体浸没式离子注入技术，对Ｔi6A14V合金进行氮离子注入，对注入层的成分，组织和性能的分析表明，注入层中氮浓度的分布具有类高斯分布特征，在注入层中有ＴiN和非态相形态，注
【机 构】
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西南交通大学
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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2001年2期
【基金项目】
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中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室资助项目100027
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