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微机械电子隧穿陀螺仪研究初步研究
微机械电子隧穿陀螺仪研究初步研究
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ruyingxiangsui1989
【摘 要】
:
本文提出了根据微机械振动陀螺仪与电子隧道传感器相结合的设想,介绍了该型陀螺仪的工作原理,推导了陀螺仪的运动方程,从理论上阐述了该设想的可行性,仿真结果表明,该陀螺仪较电容
【作 者】
:
苏岩
杨拥军
【机 构】
:
东南大学
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
隧道传感器
微机械陀螺仪
微机械振动
陀螺仪
tunneling sensor micromachined gyroscope
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本文提出了根据微机械振动陀螺仪与电子隧道传感器相结合的设想,介绍了该型陀螺仪的工作原理,推导了陀螺仪的运动方程,从理论上阐述了该设想的可行性,仿真结果表明,该陀螺仪较电容检测陀螺仪,其灵敏度可以得到很大提高。
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