【摘 要】
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研究了在３０８ｎｍ准分子激光辐照下，Ｖ２Ｏ５非晶薄膜性质的变化．利用Ｘ射线衍射、Ｘ射线光电子能谱及扫描电子显微镜等多种测试方法进行了分析比较，确定Ｖ２Ｏ５非晶薄膜性质的变化是由于高功率密度的准分子
【机 构】
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云南大学物理系,云南省分析测试中心
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研究了在３０８ｎｍ准分子激光辐照下，Ｖ２Ｏ５非晶薄膜性质的变化．利用Ｘ射线衍射、Ｘ射线光电子能谱及扫描电子显微镜等多种测试方法进行了分析比较，确定Ｖ２Ｏ５非晶薄膜性质的变化是由于高功率密度的准分子激光作用，造成Ｖ２Ｏ５薄膜的快速升温熔化和快速冷凝重构，使其中的氧产生缺位，引起化学配比偏离所致．
The properties of amorphous V2O5 thin films were studied under 308 nm excimer laser irradiation. X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy and scanning electron microscopy and other test methods were compared to determine the V2O5 amorphous film properties change is due to the high power density of the excimer laser, resulting in V2O5 rapid melting temperature increase And rapid condensation reconstruction, so that the absence of oxygen produced, causing the deviation due to the chemical ratio.
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