【摘 要】
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目前光纤信息传输和数据传输网络中，各种不同用户间需要分支，法国康宁公司的方法是将光学元件集成在同一玻璃衬底上。采用这种工艺可降低生产成本。其制备过程如下：首先将一掩膜敷设在均匀的光学玻璃衬底上，然后用光刻法将光路图蚀刻在掩膜上，再将玻璃衬底浸入池内，掩膜涂层与之进行离子交换，于是局部玻璃的折射率发生变化，形成一个镶入衬底的波导。
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目前光纤信息传输和数据传输网络中，各种不同用户间需要分支，法国康宁公司的方法是将光学元件集成在同一玻璃衬底上。采用这种工艺可降低生产成本。其制备过程如下：首先将一掩膜敷设在均匀的光学玻璃衬底上，然后用光刻法将光路图蚀刻在掩膜上，再将玻璃衬底浸入池内，掩膜涂层与之进行离子交换，于是局部玻璃的折射率发生变化，形成一个镶入衬底的波导。
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