【摘 要】
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激光微加工中,被加工材质与空气的折射率不同会产生像差,影响加工效果。基于激光微加工机理,运用波前像差函数推导出像差表达式,得到光学系统参数、加工深度与像差的关系曲线
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激光微加工中,被加工材质与空气的折射率不同会产生像差,影响加工效果。基于激光微加工机理,运用波前像差函数推导出像差表达式,得到光学系统参数、加工深度与像差的关系曲线。采用泽尔尼克循环多项式对像差进行补偿,获得补偿后的系统点扩散函数。以双光子飞秒脉冲激光在光致变色材料上进行点加工为例,对该补偿函数进行数值模拟。仿真结果表明建立的补偿模型能有效校正像差。初级像差补偿后,加工点荧光信号强度衰减现象得到显著改善,加工深度可接近600μm;二级像差补偿后,信号强度基本不随加工深度的改变而改变。提出使用开普勒望远镜系统进行像差补偿的方法并进行试验,对补偿效果进行深入分析。理论与试验结果为激光微加工过程中减小像差,改善加工效果提供了充分的依据。
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