【摘 要】
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为了保证高精度光学元件面形检测精度,必须对干涉仪标准镜自身的面形精度进行严格控制。在考虑标准镜自重的情况下,采用有限元方法研究了不同胶点数量及分布形式、不同的镜框
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学,
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为了保证高精度光学元件面形检测精度,必须对干涉仪标准镜自身的面形精度进行严格控制。在考虑标准镜自重的情况下,采用有限元方法研究了不同胶点数量及分布形式、不同的镜框支撑方式对参考面面形精度的影响。根据研究结果,针对球面标准镜面形精度要优于λ/40的要求,设计了口径准150mm的标准镜的支撑方式,采用12×3点胶接、镜框底面六点的挠性支撑方式,经有限元分析得到:参考面面形的PV值为7.36 nm,RMS值为1.52 nm;并验证了温度变形较自重变形很小。结果表明,各项指标满足设计要求,证明了结构设计的合理性。
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