【摘 要】
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英国相干光公司研制成功9000型平直度测量仪,据称是目前精度最高的平直度分析仪.在整个测量表面上测量精度达0.1微米。这种测量仪打算用来测量硅片和光刻掩模表面的平直度。
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英国相干光公司研制成功9000型平直度测量仪,据称是目前精度最高的平直度分析仪.在整个测量表面上测量精度达0.1微米。这种测量仪打算用来测量硅片和光刻掩模表面的平直度。
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