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由于高频、高速光电子器件发展的需要,器件工作层的厚度及尺寸愈来愈小,已经较成熟的液相外延、汽相外延、真空淀积等薄膜制备方法已不能满足要求。许多新发展起来的多层异质器件,在某些场合希望组分和掺杂有较陡的分布,在另些场合又希望组分和掺杂按某一函数
分子束外延技术及其进展
【摘 要】
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由于高频、高速光电子器件发展的需要,器件工作层的厚度及尺寸愈来愈小,已经较成熟的液相外延、汽相外延、真空淀积等薄膜制备方法已不能满足要求。许多新发展起来的多层异质
【机 构】
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中国科学院物理研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1991年5期
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