薄膜波导光隔离器和光电子单片集成技术

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叙述了Bi,Al:YIG薄膜的液相外延生长,研究了这种薄膜材料的光吸收系数、法拉第旋转角、磁光优值及生长感生磁各向异性与Bi含量的关系。在此基础上,连续外延生长了作单模磁光波导的双层Bi,Al:YIC薄膜。光纤偏振器的使用使薄膜波导光隔离器向实用化迈进了一步,恒磁薄膜作偏磁场为器件集成化作出了贡献。采用MOCVD技术,在GGG(钆镓石榴石)基片上同时外延生长Ⅲ-Ⅴ族半导体薄膜和钇铁石榴石(YIG)薄膜,把光隔离器和磁光光源直接集成在一起,是一种非常有前景的光电子集成组件。
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