论文部分内容阅读
微机电系统(MEMS)在消费电子领域的应用越来越普及,移动市场的增长也带动了MEMS需求的日益旺盛。实际上,MEMS传感器正在成为消费类和移动产品差异化的关键要素,例如游戏控制器、智能手机和平板电脑。MEMS为用户提供了与其智能设备交互的全新方式。本文简要介绍MEMS的工作原理、检测架构以及各种潜在应用。