【摘 要】
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本文对压电驱动微泵的工作特性进行了系统测试,利用高压方波信号源产生频率和电压可调的信号来驱动微泵,采用高精度电子秤测量固定时间(10s)内微泵输送液体的质量大小;并对工
【机 构】
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云南中烟工业有限责任公司技术中心,重庆大学新型微纳器件与系统重点学科实验室,光电技术及系统教育部重点实验室
【基金项目】
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新型烟草产品开发前沿技术研究及应用项目(2017XY01);中央高校基本科研项目(106112017CDJPT120002)
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本文对压电驱动微泵的工作特性进行了系统测试,利用高压方波信号源产生频率和电压可调的信号来驱动微泵,采用高精度电子秤测量固定时间(10s)内微泵输送液体的质量大小;并对工作特性进行相关分析,总结了压电微泵的输送流量随液体黏度、驱动电压和驱动频率之间的关系。结果表明,在相同的驱动条件下,液体黏度越大,压电微泵输送的流量越小;在固定的驱动电压下,当驱动频率为泵膜的谐振频率时压电微泵输送的流量最大,高于或低于驱动频率时输送的流量越来越小;在固定的驱动频率下(谐振频率),压电微泵输送的流量随驱动电压的升高而增加。研
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