【摘 要】
：
将科研成果转化为研究型本科实验教学内容,设计了不同极性AlN薄膜的制备及表征综合实验。采用金属有机化学气相沉积方法制备混合极性、N极性和Al极性的AlN薄膜,研究了不同极
【机 构】
：
大连理工大学光电工程与仪器科学学院,大连理工大学微电子学院
【基金项目】
：
大连理工大学教学改革基金(YB2018024,YB2019017)
论文部分内容阅读
将科研成果转化为研究型本科实验教学内容,设计了不同极性AlN薄膜的制备及表征综合实验。采用金属有机化学气相沉积方法制备混合极性、N极性和Al极性的AlN薄膜,研究了不同极性对AlN薄膜表面形貌和晶体质量的影响。研究结果表明,将渐变组分AlGaN极性调控层引入到GaN和AlN外延膜之间,AlN薄膜转变为单一Al极性生长,高分辩X射线衍射摇摆曲线(002)和(102)的半峰宽分别为375 arcsce和420 arcsce。该实验激发了学生对科学研究的兴趣,深入学习薄膜材料的制备及表征方法,培养了学生积极探索
其他文献
在工程教育的环境下,传统的实验教学模式已不能完全适应高校实践教学的需求,存在诸多弊端。该文不断进行改革探索,针对现有实验教学存在的不足进行分析,开展工程教育背景下机
面向"新工科"建设内涵,提出了材料成型及控制工程专业实验教学体系改革的思路,设计构建了以验证性实验为基础、综合与设计性实验为主体、创新与探索性实验为导向的层次化实验
为了提高学生的专业水平和科研能力,推进测控技术与仪器专业本硕博的一体化培养,以仪器测控类专业基础课"误差理论与测量数据处理"为载体,开展本硕博一体化的课程体系研究和
注水开发后期日益出现的地质问题及油套管的严重损坏,制约了油田的开发效果.针对河南油田注水开发中存在的上述问题,通过对超细水泥堵剂配方、堵剂性能、适应性等方面的研究,
北12X3井是1口重点探井,实际完钻井深4415m.该井三开钻井过程中,井下出现了坍塌、掉块、井漏、气侵严重等复杂情况,造成三开井段井径极不规则,给固井施工带来很大的困难.通过
提出了一种新型偏心细分注水工艺技术，介绍了其组成、工作原理有主要工具－－定压开启恒流量偏心配水器、自验封封隔器的结构与技术指标。该管柱避免了在封隔器坐封时投捞死嘴及多
该文以stm32f103为核心芯片,设计了一种智能物料搬运小车。小车利用TCRT5000红外接收管接收闪烁的红外光,根据不同的光频令机械臂做出对应的装料动作,之后通过灰度传感器识别
因直链形五跨关节过渡跨与普通跨吊弦计算存在区别,本文基于有限元理论对简链五跨锚段关节过渡跨的吊弦计算方法进行研究,计算中考虑了接触线的二次抛物线形状及由于接触线不