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在不同种类酸的存在下，以非离子型烷基聚氧乙烯表面活性剂为模板分别制备出有序三维立方、二维六方和无序结构的介孔氧化硅薄膜。采用小角X射线衍射和高分辨率透射电镜研究了不同酸根离子对产物介孔结构的影响。结果表明，以盐酸为介质易得到立方介孔结构，以硝酸为介质易得到六方介孔结构，而以醋酸为介质却得到无序的介孔结构。并对酸根阴离子的作用机理进行了探讨。