【摘 要】
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<正> 60年代以来,人们逐步应用石英晶体作为补偿元件进行微量运动控制,尤其是近些年发展起来的预测补偿控制技术多用此元件.为了得到所需的补偿量,必须精确地控制加在石英元
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<正> 60年代以来,人们逐步应用石英晶体作为补偿元件进行微量运动控制,尤其是近些年发展起来的预测补偿控制技术多用此元件.为了得到所需的补偿量,必须精确地控制加在石英元件上的电压,并准确地描述其动态特性.众所周知,当施于石英晶体一定的电压时,晶体本身的尺寸会发生微量变化.工程中常把这种位移与电压的关系视作线性的,而忽略了交变电压作用时的迟滞现象的影响.这虽给问题的处理带来了方便,但降低了补偿元件的精度.本文试图从工程实用的观点,应用非线性时序模型描述石英补偿元件P-172的动态特性,从而达到提
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