【摘 要】
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为了研究薄膜激光损伤机理及影响因素,基于平顶光束辐照测量的原理,采用1064nm的Nd∶YAG激光器,对电子束热蒸发方式镀制的HfO 2薄膜在重复频率激光作用下损伤的累积效应进行
【机 构】
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长春理工大学光电信息学院,长春理工大学光电工程学院
【基金项目】
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吉林省科技支撑计划资助项目(20150204047GX);吉林省教育厅“十三五”科学技术研究资助项目(2015578)
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为了研究薄膜激光损伤机理及影响因素,基于平顶光束辐照测量的原理,采用1064nm的Nd∶YAG激光器,对电子束热蒸发方式镀制的HfO 2薄膜在重复频率激光作用下损伤的累积效应进行了理论分析和实验验证。运用损伤阈值的测量原理,分析了1-on-1和S-on-1两种测量方式的特点,并分别开展了测量实验。采用二分法查找辐照激光能量,每个能量密度辐照20个测试点,应用零几率损伤阈值和最小二乘法拟合确定测量结果。结果表明,对同种薄膜,1-on-1测量方式测得的损伤阈值为15.75J/cm 2,S-on-1测量方式测得
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