高速钢上氮化碳薄膜附着力及其影响因素的研究

来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户：alggg

【摘要】

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氮化碳(CNx)薄膜具有优异的力学性能和摩擦学性能,很适合用作耐磨保护涂层及固体润滑剂.采用磁控溅射法在高速钢(HSS)基片上制备了氮化碳薄膜,并以划痕法对其附着力进行了研

【作者】

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毕凯刘军陈春

【机构】

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镇江船艇学院物理教研室,江苏大学材料科学与工程学院

【出处】

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材料保护

【发表日期】

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2005年12期

【关键词】

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磁控溅射氮化碳薄膜附着力影响因素 magnetron sputtering carbon nitride film adhesion force affe

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氮化碳(CNx)薄膜具有优异的力学性能和摩擦学性能,很适合用作耐磨保护涂层及固体润滑剂.采用磁控溅射法在高速钢(HSS)基片上制备了氮化碳薄膜,并以划痕法对其附着力进行了研究.结果表明:有TiN中间层的CNx复合薄膜比无TiN中间层的附着性能有较大的提高.CNx/TiN复合薄膜附着性能较好的主要原因是:对基片严格的清洁处理,采用磁控溅射法对基片施加了合适的负偏压,沉积了合适的中间过渡层;工艺参数合理.

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