磷掺杂微晶硅薄膜激活能特性研究

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通过激活能测试装置测量PECVD沉积的磷掺杂n型微晶硅薄膜,并对不同掺杂浓度、不同沉积温度下制备的样品的激活能进行了分析研究。结果表明:对磷掺杂微晶硅薄膜,激活能较本征薄膜小,以meV为单位,在晶化较好的情况下,激活能和晶化率的关系不明显,以杂质效应对电导的影响为主。
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