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磷掺杂微晶硅薄膜激活能特性研究
磷掺杂微晶硅薄膜激活能特性研究
来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lym66688
【摘 要】
:
通过激活能测试装置测量PECVD沉积的磷掺杂n型微晶硅薄膜,并对不同掺杂浓度、不同沉积温度下制备的样品的激活能进行了分析研究。结果表明:对磷掺杂微晶硅薄膜,激活能较本征薄膜
【作 者】
:
陈庆东
王俊平
张宇翔
卢景霄
【机 构】
:
滨州学院物理与电子科学系,郑州大学材料物理教育部重点实验室
【出 处】
:
人工晶体学报
【发表日期】
:
2010年B06期
【关键词】
:
PECVD
微晶硅
电导
激活能
PECVD microcrystalline silicon conduction activation energy
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通过激活能测试装置测量PECVD沉积的磷掺杂n型微晶硅薄膜,并对不同掺杂浓度、不同沉积温度下制备的样品的激活能进行了分析研究。结果表明:对磷掺杂微晶硅薄膜,激活能较本征薄膜小,以meV为单位,在晶化较好的情况下,激活能和晶化率的关系不明显,以杂质效应对电导的影响为主。
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