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介绍集成铁电学的内容及发展,研究快速退火工艺对钛酸铋铁电薄膜铁电性、剩余极化强度、介电常数、绝缘性和介电损耗的影响.
集成铁电学工艺的研究
【摘 要】
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介绍集成铁电学的内容及发展,研究快速退火工艺对钛酸铋铁电薄膜铁电性、剩余极化强度、介电常数、绝缘性和介电损耗的影响.
【机 构】
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海军航空工程学院基础部:海军航空工程学院自动控制系
【出 处】
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海军航空工程学院学报
【发表日期】
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2002年4期
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