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支年12月发布的ITRS 2006修正版，基本未对主要版本ITRS 2005做过多的修改。不过有一个例外就是增加双重图形作为潜在的45nm光刻解决方案（参见本刊《不改变光刻波长实现45nm半节距》一文）。另一个重要的变化出现在前段工艺和工艺集成领域。
ITRS 2006中的重要变化
【摘 要】
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支年12月发布的ITRS 2006修正版，基本未对主要版本ITRS 2005做过多的修改。不过有一个例外就是增加双重图形作为潜在的45nm光刻解决方案（参见本刊《不改变光刻波长实现45nm半节
【机 构】
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《集成电路应用》主编
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年4期
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