【摘 要】
：
芯片异构集成的节距不断缩小至10 μm及以下,焊料外扩、桥联成为焊料微凸点互连工艺的主要技术问题.通过对微凸点节距为8 μm的Cu/Sn固液扩散键合的工艺研究,探索精细节距焊
【机 构】
：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏,苏州,215123
论文部分内容阅读
芯片异构集成的节距不断缩小至10 μm及以下,焊料外扩、桥联成为焊料微凸点互连工艺的主要技术问题.通过对微凸点节距为8 μm的Cu/Sn固液扩散键合的工艺研究,探索精细节距焊料微凸点互连工艺存在的问题,分析Cu/Sn微凸点键合界面金属间的化合物,实现了精细节距和高质量的Cu/Sn微凸点互连,获得了节距为8 μm、微凸点数为1 900个、总面积为3 mm×3 mm的不均匀微凸点阵列,该阵列互连对准误差小于0.5 μm,含有200个微凸点菊花链结构的电学导通.
其他文献
钾离子电池(KIB)因具有能量密度高、钾储量丰富以及成本低等优势,有望替代锂离子电池(LIB)成为新一代储能器件。在众多材料中,碳材料由于具有廉价易得、环保等优点被认为是极具潜力的KIB负极材料,然而其在充放电过程产生巨大的体积膨胀和结构变形令电池具有较低的可逆容量、较差的倍率性能及循环稳定性。为提高碳材料储钾能力,改善KIB性能,目前常采用掺杂杂原子、石墨层间距调控、碳结构和形貌设计等手段对碳材料进行改性。本工作综述了不同类型碳材料(石墨、石墨烯、硬碳、软碳和多孔碳)作为KIB负极的最新研究进展,对其面
以β-环糊精(β-CD)为单体,四氟对苯二腈为交联剂,合成了交联β-环糊精聚合物(CDP-CN)。并进一步与羟胺反应,得到偕胺肟基改性β-环糊精聚合物吸附剂(CDP-AM)。研究了CDP-AM对Cu(Ⅱ)、Pb(Ⅱ)两种金属离子的吸附效果。通过FT-IR、TGA、SEM、XPS表征了聚合物吸附剂结构,并通过ζ电位研究了质子化程度。考察了溶液的pH、初始浓度和吸附时间对吸附Cu(Ⅱ)、Pb(Ⅱ)的影响。结果显示,吸附过程符合Langmuir等温模型和伪二阶模型。Pb(Ⅱ),Cu(Ⅱ)在30℃时的最大吸附容量
采用第一性原理方法研究了层状阴极材料LaSrCoO4±δ及PrBaMn2O5+δ的电子结构、缺陷形成能及氧离子迁移能,针对La/Sr、Pr/Ba等A位原子分层有序排列和交替混合排列2种结构,系统地分析了其对电子结构、氧空位及间隙氧缺陷的影响。结果表明:对于LaSrCoO4±δ,La/Sr分层有序排列更利于间隙氧离子的形成和迁移,对于PrBaMn2O5+δ,Pr/Ba交替混合排
厚热障涂层(TTBCs)具有良好的隔热性能,能够有效提高航机涡轮/燃机透平前的燃气入口温度。等离子体喷涂工艺是制备TTBCs的典型方法。综述了等离子体喷涂TTBCs的国内外研究现状,指出了TTBCs所面临的挑战。着重从单片层、涂层结构及性能等方面展开探讨,同时对其发展趋势进行了展望。
草木萌发,春山可望,在编委会和编辑部的共同努力及广大专家和作者的热情支持下,《固体电子学研究与进展》迎来了创刊40周年.值此之际,编辑部全体同仁向各位专家、作者和读者
纳米Fe3O4作为典型的磁性吸附材料可应用于放射性废水处理,为进一步提高其吸附性能,本文通过Zn和S双修饰Fe3O4制备出纳米磁性S-ZnFe2O4,并通过SEM、XRD、EDS、FT-IR、Raman等手段对比表征了Fe3O4及S-ZnFe2O4的结构及形貌,研究了pH对其吸附铀酰离子(
研究了不同温度热活化凹凸棒石去除甲醛的作用及甲醛浓度、气体停留时间对去除效率的影响规律,并通过原位漫反射红外光谱研究了甲醛在凹凸棒石表面的作用机制。结果表明:250℃热活化凹凸棒石(Pal-250)具有最好的甲醛去除性能,空气中氧增强了Pal-250对甲醛的去除,表明热活化凹凸棒石对甲醛去除机制不仅为物理吸附,同时包含催化矿化过程。部分吸附态的甲醛可以通过羟基和活性氧在凹凸棒石表面发生矿化反应,生成亚甲基二氧、甲酸盐、碳酸盐等物种。
为制备出一种柔性、轻质、高效的电磁屏蔽材料,以密度为0.055 g/cm3的活性炭纤维毡(ACF)为原料,研究了氩气气氛高温处理对ACF微观结构和电磁屏蔽性能的影响;借助X射线衍射、R
讨论了普鲁士蓝(PB)的电致变色机制,总结了近年来国内外学者为提高其电致变色性能进行的研究.概述了目前制备PB薄膜的主要方法及其工艺与性能的关系,陈述了PB与其他材料复合
对托贝莫来石(TOB)进行加热与酸化复合改性,成功制备出比表面积为570 m2/g的酸化改性托贝莫来石(AHTOB),并用X射线衍射、N2吸附-脱附对改性托贝莫来石进行了结构表征和表面积及孔径分析。通过静态吸附实验探讨了3种吸附剂对亚甲基蓝溶液(MB)的吸附性能,分析改性TOB对MB的吸附机制。考察了不同吸附剂及其加入量、溶液p H值、MB初始浓度、吸附时间及温度对吸附行为的影响,研究了AHTOB对MB溶液吸附的热力学和动力学行为。结果表明:对50 m L,浓度为10 mg/L的MB