位错间的相互作用对应变外延层应变释放的影响

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ll19870627
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利用D-T模型考虑了界面位错间的相互作用,计算了外延层与衬底为不同失配,不同厚度时,应变的释放。发现由于失配产生的位错,在外延层应变释放的初期,主要是靠产生60°位错来释放应变,而在产生较多的位错后,位错间的相互作用将导致外延层的应 过程缓慢,此时要考虑90°位错对应变释放所造成的影响;并对已有的实验结果进行了一些解释。
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