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生产多晶硅的主流工艺是改良西门子法,其主要耗能单元在多晶硅还原装置中,耗能的主要形式为电能消耗,多晶硅还原装置的电耗占整个多晶硅流程的40~60%。本文研究了多晶硅生产中如何实现节能,分析了多晶硅还原中消耗的电能以热能的形式再利用;还系统地探讨以高温水为热载体对还原热能进行综合利用的途径,从而降低整个多晶硅生产装置的综合能耗,以减少生产成本。