一种栏具安全限位构件的设计与研究

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qipini
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
针对开发的X型工艺设备,为了合理有效地保证生产中产品的安全,工艺设备所用的栏具托架及其周边需设置合理的限位机构,以对栏具形成有效的约束。通过比较各种可行的机构方案.并综合考虑各个方案在工艺设备中的实用性和可靠性,选定整体式旋转限位构件的方案加以分析设计。经过对栏具装入/卸载流程的研究,以及相关工作部件的空间位置关系,研究设计了一种栏具安全限位构件。该限位构件外形紧凑,功能稳定,有效地利用了工艺设备的空间,节约了整个工艺设备的成本。
其他文献
茉莉(Jasminum sambac),别名抹丽,有压倒众花之意.又名茉莉花、抹利、抹厉、莫丽、莫尼、柰花、木梨花等,系木樨科茉莉属,素称"人间第一香".
《电子工业专用设备》讯:KLA-Tencor公司(纳斯达克股票代码:KLAC)日前宣布推出两款全新缺陷检测产品,在硅晶圆和芯片制造领域中针对先进技术节点的逻辑和内存元件,为设备和工艺监
身着颜色鲜艳的外衣,眼睛大大的,还喜欢吐泡泡……金鱼实在太可爱了,难怪很多人把它们养在水缸中当宠物。如果没有条件养金鱼,我们可以用纸盘做一些金鱼,并把它们带在身边,让它们时