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研究了Ｌｉｎｋ公司涌谱仪中ＲＴＳ软件（薄膜定量分析软件）可靠性及适用性。实验结果表明：ＲＴＳ软件能量分析结果误差较小。但对Ｃ、Ｎ、Ｏ等轻元素定量分析，试样厚度小于１５００＾°Ａ以下时，结果才比较可靠。
EXL能谱仪薄样品X线的定量分析
【摘 要】
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研究了Ｌｉｎｋ公司涌谱仪中ＲＴＳ软件（薄膜定量分析软件）可靠性及适用性。实验结果表明：ＲＴＳ软件能量分析结果误差较小。但对Ｃ、Ｎ、Ｏ等轻元素定量分析，试样厚度小于１５００＾°Ａ以下时，结果才比较可靠。
【机 构】
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武钢技术中心
【出 处】
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钢铁研究
【发表日期】
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1998年3期
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