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通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析。在静态和模态分析中，得到水平方向最大静位移和谐振频率等重要性能参数以及不同的折叠悬臂梁结构参数对它们的影响。在谐响应仿真分析中得到微谐振器的幅频响应特性，从而导出微谐振器的品质因子Q值。
横向振动微谐振器的仿真分析
【摘 要】
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通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析。在静态和模态分析中，得到水平方向最大静位移和谐振频率等重要性能参数以及不同的折叠悬臂梁结
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
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2006年2期
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