【摘 要】
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运动学支撑定位精度检测,采用激光散斑干涉法记录被测体特定平面的位移,以获得6自由度刚体位移分量.其图象处理技术是用细激光束对处理好的散斑图进行照射以获取图象(即杨氏
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运动学支撑定位精度检测,采用激光散斑干涉法记录被测体特定平面的位移,以获得6自由度刚体位移分量.其图象处理技术是用细激光束对处理好的散斑图进行照射以获取图象(即杨氏条纹图),通过增强、滤波、提取条纹中心线等技术对获取的图象进行处理,提取出杨氏条纹图象在X、Y、Z三个方向的条纹间距,从而分析出被测物体特定平面内的位移信息,精度达到0.4μm.实验证明,该技术提高了运动学支撑定位检测精度.
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