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提出了基于两点法的精密移动台滚转角测量新方法,可以将移动台滚转角误差与参考镜角形状误差分离开来.实验结果表明,滚转角误差的测量重复性精度可达0.05'',这个值是由测量系统稳定性决定的.
滚转角误差的光学精密测量技术研究
【摘 要】
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提出了基于两点法的精密移动台滚转角测量新方法,可以将移动台滚转角误差与参考镜角形状误差分离开来.实验结果表明,滚转角误差的测量重复性精度可达0.05'',这个值是
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2000年10期
【基金项目】
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日本尼康公司生产技术本部资助项目
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