论文部分内容阅读
基于激光受激辐射损耗原理的远场光学超分辨成像技术，当圆形入射高斯激光经过涡旋相位板调制后，将转变为中心光强为零的圆环形光束，该形状的激光束与光敏聚合物作用，能够制备出具有一定功能的纳米结构。介绍了自主搭建的基于圆环连续激光光源的激光直写系统，以及利用该系统研制的复合纳米结构。当光源为532 nm连续激光输出时，与正性光刻胶作用，得到直径〈50 nm的纳米柱复合结构，以及整齐均匀的纳米柱阵列结构；与负性光刻胶作用，得到直径〈100 nm的纳米通道，以及整齐均匀的中央有纳米通道的微米柱复合结构阵列。当光源为4