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为研究多层膜反射镜的热稳定性，设计制备了工作在778eV处的Co／M02C多层膜，研究了多层膜在退火实验中的热稳定性及界面结构的变化。通过X射线反射测试表征及拟合退火前后多层膜的结构信息，并用X射线衍射表征多层膜退火过程中膜层晶相结构的变化。结果表明，多层膜的界面质量较好，未退火样品处于无定形态。在退火过程中，周期厚度变化小，多层膜的热稳定性优异。随着退火温度的升高，在M02C-on-Co界面处，Co从Co-C混合区域中析出生成C03Mo晶粒，界面扩散程度加大，从而Co-on-M02C界面的热稳定性要优于