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用激光平面干涉仪测量光学平板玻璃的平行差
用激光平面干涉仪测量光学平板玻璃的平行差
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lhl23
【摘 要】
:
<正> 平板玻璃是指两个表平面相互平行的玻璃板。在加工中,由于加工设备、测量仪器等因素,不可能将两个表平面加工的绝对平行,总是会形成一定的角度,这个角度就是平行平板玻
【作 者】
:
邓芳纹
【机 构】
:
中国科学院西安光机所工厂
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
1992年2期
【关键词】
:
激光
平行差
干涉仪
光学平板玻璃
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<正> 平板玻璃是指两个表平面相互平行的玻璃板。在加工中,由于加工设备、测量仪器等因素,不可能将两个表平面加工的绝对平行,总是会形成一定的角度,这个角度就是平行平板玻璃的平行性误差,用误差角θ表示,见图1。
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