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目前互连线的工艺变化问题己成为影响超大规模集成电路性能的重要因素。考虑了互连线工艺变化的空间相关性，将工艺参数变化建模为具有自相关性的随机过程，采用数值仿真及拟合方法得到寄生参数的近似表达式，最后基于Elmore延迟度量分析了随机工艺变化对互连延迟的影响，提出了工艺变化下互连延迟统计特性的估算方法，并通过仿真实验对方法的有效性进行了验证。